股票名称
涨跌幅
主力净流入
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行业地位：公司为上海微电子装备集团相关设备提供冷却系统配套，已实现供货
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行业地位：光刻机空气净化设备，公司核心产品风机过滤单元和过滤器在总静压、性价比等指标处于国内外领先水平，公司2006起与中芯国际合作、参与最新14nm和28nm产线洁净配套，负责了上海微电子首台28nm产线，与Intel、ST Microelectronics以及一些知名海外企业有着深度合作。
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行业地位：子公司洪瑞微电子2025年6月23日官微：我们为客户供应的掩模版直写光刻机，是一台波长为405nm，最小线宽线距解析能力为2.5μm，对位精度为±2μm的高精度的激光直写光刻设备，可实现L/S为3μm的掩模版产品的量产光刻，同时提供多重图形涨缩补偿算法，是我司与合作伙伴-中国科学院上海光学精密机械研究所属企业上海镭慎光电团队在微纳激光直写领域做出的重大技术突破，代表了当前可量产化的国产自研直写光刻机的最高等级光学技术水平，帮助客户大幅降低成本，实现了掩模版微纳光刻解决方案的国产替代，可满足先进封装与半导体掩模版领域产品的直写光刻需求。
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行业地位：公司控股的美国菲涅尔制版科技公司，先后研发出多台技术先进、性能突出、与光学制版有关的光刻机设备，并在全球范围内独家供应公司使用。
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行业地位：公司液体恒温设备在半导体制造设备领域主要应用于光刻机、刻蚀机、PVD/CVD、研磨抛光机等关键设备的温度控制。
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行业地位：2023年2月2日,公司控股子公司岳阳凯美特电子特种稀有气体有限公司光刻气产品获得ASML子公司Cymer公司合格供应商认证函。
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行业地位：【真空镀膜设备】真空镀膜设备已实现从 i 线到 EUV 级别的覆盖，核心产品包括光刻掩膜版 / 铬板镀膜设备。其新一代离子束镜片镀膜设备性能比肩德国莱宝，采用 “离子束抛光 + 镀膜” 双技术路线，解决了镜面纳米级精度加工难题，填补了国内高端镀膜设备空白。
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行业地位：光刻机光源系统，公司在全球工业级精密光学市场中的市场份额约2.4%，产品主要用于半导体检测及光刻机领域，与半导体领域领先企业如上海微电子、KLA、Camtek等建立稳定的合作关系，随着半导体设备国产化进程，公司有望与下游客户同步高增长。
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行业地位：公司可为光刻环节的溶胶显影、涂胶等设备提供精密洗净服务。
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行业地位：光刻机结构零部件，气液真空零部件国产龙头，打破双重壁垒国产替代提速半导体高纯及超高纯材料主要应用于半导体厂务端和设备端，成功进入应用材料、泛林、北方华创、台积电、长江存储等客户供应链。
