股票名称
涨跌幅
主力净流入
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行业地位：【真空镀膜设备】真空镀膜设备已实现从 i 线到 EUV 级别的覆盖，核心产品包括光刻掩膜版 / 铬板镀膜设备。其新一代离子束镜片镀膜设备性能比肩德国莱宝，采用 “离子束抛光 + 镀膜” 双技术路线，解决了镜面纳米级精度加工难题，填补了国内高端镀膜设备空白。
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行业地位：先进封装光刻机市占率A股第一，高端光刻机A股唯一。通过子公司上海张江浩成创业投资有限公司投资上海微电子装备有限公司2.23亿元，持有微装公司10.779%股权。微装公司是国内唯一一家研发、生产以及销售高端光刻机的企业，也是全球第四家生产IC前道光刻机的企业。在先进封装光刻机等领域，微装公司的国内市场占有率超过80%，全球市场占有率为40%。
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行业地位：光刻机空气净化设备，公司核心产品风机过滤单元和过滤器在总静压、性价比等指标处于国内外领先水平，公司2006起与中芯国际合作、参与最新14nm和28nm产线洁净配套，负责了上海微电子首台28nm产线，与Intel、ST Microelectronics以及一些知名海外企业有着深度合作。
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行业地位：光刻机光源系统，研发KBBF晶体(用于激光设备的上游关键零部件)，KBBF晶体是目前可直接倍频产生EUV激光的非线性光学晶体。
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行业地位：光刻机光源系统，公司在全球工业级精密光学市场中的市场份额约2.4%，产品主要用于半导体检测及光刻机领域，与半导体领域领先企业如上海微电子、KLA、Camtek等建立稳定的合作关系，随着半导体设备国产化进程，公司有望与下游客户同步高增长。
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行业地位：已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力，公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套。
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行业地位：公司瑞士子公司UCM AG自2008年开始与ASML（荷兰光刻机制造商阿斯麦公司）开展合作，目前UCM AG为ASML及其供应商提供极紫外光刻机（EUV）的光学系统相关关键部件的清洗设备。
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行业地位：公司为上海微电子装备集团相关设备提供冷却系统配套，已实现供货
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行业地位：【直写光刻机】公司专业从事以微纳直写光刻为技术核心的直接成像设备及直写光刻设备的研发、制造、销售以及相应的维保服务,主要产品及服务包括PCB直接成像设备及自动线系统、泛半导体直写光刻设备及自动线系统、其他激光直接成像设备以及上述产品的售后维保服务。
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行业地位：公司具备生产制造光刻机镜头的技术和能力，公司的光刻机镜头技术为自主研发。
